近年來,隨著無鹵素封裝材料在微電子行業(yè)的推廣應(yīng)用,一類新的可靠性風(fēng)險逐漸顯現(xiàn):非鹵素環(huán)氧樹脂在固化或熱老化過程中釋放的揮發(fā)性有機物(VOCs),可能導(dǎo)致金-鋁(Au-Al)引線鍵合界面發(fā)生退化甚至失效。與傳統(tǒng)鹵素腐蝕機制不同,此類失效具有隱蔽性強、隨機發(fā)生的特點,給失效分析和質(zhì)量控制帶來嚴峻挑戰(zhàn)。
一、失效機理:從氣體釋放到界面劣化
非鹵素環(huán)氧樹脂在固化或后續(xù)熱應(yīng)力作用下,可能釋放多種有機排氣產(chǎn)物,主要包括:未wanquan反應(yīng)的環(huán)氧單體、溶劑及活性稀釋劑,固化副產(chǎn)物或降解產(chǎn)生的小分子有機物,這些氣體在封裝體內(nèi)擴散并吸附于鍵合焊盤表面,可能通過以下途徑影響鍵合可靠性:
作用機制 | 具體表現(xiàn) | 后果 |
物理吸附與沉積 | 有機物在鋁焊盤表面形成非揮發(fā)性薄膜,其厚度可達分子層級 | 阻礙金屬間直接接觸,降低界面結(jié)合強度 |
聚合與固化 | 部分活性單體在焊盤表面發(fā)生局部聚合,形成致密有機層 | 顯著增加界面電阻,削弱機械結(jié)合力 |
氧化催化 | 有機沉積物可能改變表面能態(tài),加速鋁的局部氧化 | 形成非導(dǎo)電氧化層,導(dǎo)致微區(qū)鍵合失效 |
值得注意的是,此類失效往往呈現(xiàn)偶發(fā)性與局部性,同一批次產(chǎn)品中僅少數(shù)器件受影響,這與排氣產(chǎn)物的分布不均勻性、局部微環(huán)境差異以及界面狀態(tài)敏感性密切相關(guān)。
二、檢測與預(yù)防策略
為有效防控此類風(fēng)險,需建立從材料評估到工藝控制的全鏈條質(zhì)量保障體系:
1. 材料層面篩選與評估
對擬采用的環(huán)氧樹脂進行熱重分析-質(zhì)譜聯(lián)用(TG-MS) 或頂空氣相色譜-質(zhì)譜(HS-GCMS),系統(tǒng)評估其在工藝溫度范圍內(nèi)的揮發(fā)性有機物釋放特性。優(yōu)先選擇低揮發(fā)性、高固化轉(zhuǎn)化率的樹脂體系。
2. 工藝過程控制
鍵合前表面處理:采用氧等離子體清洗或紫外線臭氧處理,可有效去除焊盤表面有機污染物,恢復(fù)表面活性,此步驟被證明對預(yù)防此類失效具有關(guān)鍵作用。
工藝環(huán)境優(yōu)化:在芯片貼裝與鍵合工序中控制環(huán)境潔凈度與溫濕度,減少污染物吸附窗口。
3. 質(zhì)量監(jiān)控與檢測
焊球剪切測試:作為生產(chǎn)線上的常規(guī)監(jiān)控手段,可有效識別因界面污染導(dǎo)致的鍵合強度退化。建議對關(guān)鍵產(chǎn)品提高抽樣頻率并進行統(tǒng)計過程控制(SPC)。
表面分析技術(shù):對異常批次可進行X射線光電子能譜(XPS) 或飛行時間二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS) 分析,精確鑒定表面有機污染物成分。

非鹵素環(huán)氧樹脂排氣導(dǎo)致的鍵合失效,凸顯了材料"綠色化"進程中工藝兼容性與長期可靠性的重要性。通過材料-工藝-檢測的協(xié)同優(yōu)化,可顯著降低此類風(fēng)險。在這一過程中,精確的力學(xué)性能測試至關(guān)重要。
科準(zhǔn)測控依托專業(yè)力學(xué)檢測系統(tǒng),可精確測量金-鋁鍵合界面的抗剪切和拉拔強度,評估不同工藝條件下的鍵合可靠性。同時提供溫循-濕熱復(fù)合測試方案,模擬實際服役條件下的界面退化過程。隨著封裝技術(shù)的持續(xù)發(fā)展,科準(zhǔn)測控將繼續(xù)以專業(yè)的力學(xué)檢測能力和完善的測試方案,為企業(yè)在材料篩選、工藝優(yōu)化及可靠性驗證各環(huán)節(jié)提供有力支撐。