在高度集成化和微型化的現(xiàn)代電子工業(yè)中，半導體器件的可靠性是決定產(chǎn)品品質與壽命的關鍵。其中，芯片與外部電路之間的引線鍵合點，猶如人體的“神經(jīng)末梢"，其連接的牢固程度直接關系到整個電路系統(tǒng)的生死存亡。一個微小的鍵合點失效，就可能導致整個模塊功能異常甚至che底報廢。因此，對鍵合點進行精準的強度測試，是半導體封裝與失效分析領域中重要的一環(huán)。
本文科準測控小編將圍繞Alpha W260推拉力測試機這一核心設備，深入淺出地為您解析引線鍵合強度測試的基本原理、核心標準、儀器特點及完整操作流程，助力您在產(chǎn)品質量控制和失效分析中做到心中有數(shù)，手中有術。
一、 測試原理
引線鍵合強度測試主要分為兩種：拉力測試和剪切力測試。Alpha W260能夠wan美執(zhí)行這兩種測試。
1、引線拉力測試
目的：評估單根鍵合引線（通常是金線、銅線或鋁線）與其焊盤之間的結合強度。
原理：使用一個精密的微型鉤子，小心地鉤住兩根鍵合點之間的引線弧頂。然后，測試機施加一個垂直于芯片表面的、持續(xù)且均勻的拉力，直到引線被拉斷或鍵合點被拉脫。通過傳感器記錄下失效瞬間的最大力值，即為該鍵合點的拉力強度。
2、焊球剪切測試
目的：評估芯片表面第一焊點（焊球）與焊盤之間的結合強度。
原理：使用一個特定寬度和材質的剪切工具，將其精準地定位在焊球側面，并使其與芯片表面保持一個微小的間隙（通常為3-5μm）。工具然后沿水平方向勻速推進，將焊球從焊盤上推離。傳感器記錄下推離過程中產(chǎn)生的最大剪切力，即為該焊球的剪切強度。
二、 測試標準
MIL-STD-883, Method 2011.7： 《微電子器件試驗方法和程序》中的“鍵合強度"方法。
JESD22-B116： 由JEDEC（固態(tài)技術協(xié)會）發(fā)布的“ wire Bond Shear Test Standard "。
GB/T 4937（中國國家標準）：《半導體器件 機械和氣候試驗方法》，其中也包含了鍵合強度的相關測試規(guī)定。
這些標準通常會對以下方面做出規(guī)定：
測試速度（如：剪切測試通常為100-500μm/s）
工具與芯片表面的間隙
剪切工具的選擇
最小可接受力值
三、 檢測儀器
Alpha W260推拉力測試機
Alpha W260是一款高精度、高自動化的推拉力測試系統(tǒng)，專為滿足現(xiàn)代半導體實驗室的嚴苛要求而設計。
主要特點與優(yōu)勢：
a、高精度力值測量：采用高分辨率力傳感器，量程范圍廣，可從零點幾克力到數(shù)百克力，確保即使是超細線鍵合也能精確測量。
b、zhuo越的視覺對位系統(tǒng)：配備高倍率光學顯微鏡和高清CCD相機，結合強大的軟件，可自動或手動快速、精準地定位測試點，尤其適用于高密度、小尺寸的芯片。
c、高穩(wěn)定性與重復性：精密的機械結構和運動控制算法，確保了測試過程中推拉動作的平穩(wěn)與精準，測試結果重復性及高。
d、智能化的測試軟件：用戶友好的操作界面，可預設測試程序、設置參數(shù)界限、自動記錄數(shù)據(jù)并生成統(tǒng)計報告（如CPK值）。軟件還能輔助進行失效模式分析。
e、強大的數(shù)據(jù)管理：可存儲所有測試的力值-位移曲線、圖像和視頻，便于后續(xù)追溯和深度分析。
f、靈活的配置：可更換多種規(guī)格的拉力鉤和剪切工具，以適應不同尺寸的引線和焊球。
四、 測試流程（以Alpha W260為例）
1、樣品準備與固定
將待測的半導體器件（如芯片、封裝體）牢固地固定在測試機的樣品臺上。
2、系統(tǒng)校準
開機預熱后，使用標準砝碼對力傳感器進行校準，確保力值測量的準確性。
3、程序設置
在軟件中選擇測試類型（拉力或剪切）。
根據(jù)標準或內部規(guī)范，設置測試參數(shù)，如測試速度、回退距離、力值上下限等。
選擇并安裝合適的測試工具（鉤子或剪切刀）。
4、視覺對位
通過顯微鏡和攝像頭，將測試工具精確移動到第一個待測鍵合點上方。
對于拉力測試，小心地將鉤子穿過引線弧并置于中點。
對于剪切測試，將剪切刀對準焊球側面，并調整好與芯片表面的間隙。
5、執(zhí)行測試
啟動測試程序。設備將自動執(zhí)行推拉動作，并實時繪制力值-位移曲線。
6、數(shù)據(jù)采集與失效分析
測試完成后，系統(tǒng)自動記錄最大力值。
操作員通過觀察曲線形態(tài)和測試后位置的顯微鏡圖像，判斷失效模式（例如，是健康的線頸斷裂，還是異常的焊盤抬起）。
7、生成報告
完成一批樣品測試后，利用軟件生成包含統(tǒng)計數(shù)據(jù)（平均值、標準差、最小值、最大值）、分布圖和每個測試詳細結果的綜合報告。
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